X熒光元素分析儀的干擾因素主要有三方面 X熒光元素分析儀是一種比較新型的可以對多元素進(jìn)行快速同時測定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（X-熒光）。
X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100keV的光子。X射線與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
X熒光元素分析儀的原理基于原子受到X射線的作用，其內(nèi)層電子被激發(fā)，形成空穴，原子處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)。為了回到穩(wěn)態(tài)，原子的外層電子會躍遷回內(nèi)層，多余的能量以熒光形式釋放出來，被偵測器檢測到，通過此來做分析。通常，可以將X熒光元素分析儀可分為波長色散性和能量色散性。X熒光元素分析儀在日常的分析工作中，XRF這種分析方法經(jīng)常會出現(xiàn)共元素干擾。這種共元素干擾的問題主要起源于X熒光射線偵測器對于X熒光射線的分辨率的限制所致，只要是XRF都會遭遇到相同的問題。共元素干擾主要分為三類：兩相近共元素干擾、逃離波峰、加乘波峰。
1、兩相近共元素干擾
由于兩元素在能譜圖上的位置相近，以至于偵測器無法分別出兩者之間的差距。如鉛(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。
2、逃離波峰
由于某元素的濃度異常高，此時發(fā)出大量X熒光射線，而偵測器無法及時處理，將在此元素的能譜位置前一個硅Ka的能譜距離多出一根小波峰而造成誤判，但情形極少出現(xiàn)。如錫(Ka25.27Kev)-硅(Ka1.74Kev)=23.53Kev≈鎘(Ka23.17Kev)。
3、加乘波峰
由于某元素的濃度異常高，此時發(fā)出大量X熒光射線，而偵測器無法及時處理，將在能譜兩倍的位置上出現(xiàn)一根波峰。如大量的鐵(Ka6.4Kev)，會在能譜12.8Kev處出一根小波峰。造成誤判。但此種情形極為少見。
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